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Applications
Advantages
-
A sub-nanometric resolution
-
Multiple measurement mode
Product's features
Magnification |
10X |
20X |
50X |
Measurement surface (µm²) |
890 x 665 |
446 x 333 |
160 x 120 |
Depth of focus (µm) |
3.06 |
1.71 |
0.9 |
Working distance (mm) |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
Optical resolution (µm) |
0.9 |
0.69 |
0.5 |
Lateral sampling (µm) |
0.61 |
0.30 |
0.11 |
Repeatability Phase mode (nm) |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
Repeatability Wave mode (nm) |
1 |
1 |
1 |
Repeatability confocal mode (nm) |
10 |
10 |
10 |
Mise en situation du produit